基于光谱椭偏术的多层结构介质衍射光栅表征研究
在集成光学与光子器件研究中,介电衍射光栅是耦合布洛赫表面波等导模的关键元件,但其亚微米尺度的几何参数难以通过显微技术精确表征。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征,广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。
本研究采用光谱椭偏术(SE)对制备于布洛赫表面波(BSW)支撑多层结构上的亚微米周期介质光栅进行光学表征与建模,在建模过程中考虑仪器的有限光谱带宽等非理想因素,对准确描述实验光谱至关重要。通过椭偏数据分析获得的光栅几何参数与原子力显微镜(AFM)扫描结果高度一致,验证了椭偏模型的可靠性。该研究为光栅耦合器的光学表征提供了有效方法,并强调了考虑仪器带宽的重